真空泵

真空泵是一种旋转式变容，真空泵须有前级泵配合方

可使用在较宽的压力范围内有较大的抽速，对被抽除

气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感广泛用于冶金、化工、

食品、电子镀膜等行业。

成品特点：

1)在较宽的压力范围内有较大的抽速；
(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。

转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损

失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；
(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空

系统的污染；
(4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；
(5)压缩比较低，对氢气抽气效果差；
(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。